用于細(xì)胞代謝檢測的640 × 640 ISFET陣列
離子敏場效應(yīng)晶體管（Ion sensitive Field Effect Transistor，ISFET）是一種通過離子敏感膜特異性檢測溶液離子濃度的半導(dǎo)體生化傳感器，具有高靈敏、高通量、快速、可大批量制造等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于基因測序、疾病診斷、廢水處理、食品安全等領(lǐng)域。
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李釗課題組研制了面向細(xì)胞生理監(jiān)測的專用集成電路生化傳感芯片，集成了40萬門大陣列ISFET離子敏場效應(yīng)管及輔助電路，敏感單元面積7.4 μm × 7.4 μm，氫離子敏感度達(dá)到33 mV/pH，分辨率0.02 pH，實(shí)現(xiàn)了溶液離子特性電化學(xué)動態(tài)測試和癌細(xì)胞培養(yǎng)過程pH監(jiān)測，有望為癌細(xì)胞生理活動和代謝過程的研究提供新技術(shù)平臺。
圖1. p型ISFET的示意圖。
該文章以題為“A 640 × 640 ISFET array for detecting cell metabolism”發(fā)表在Journal of Semiconductors上。
文章信息：
A 640 × 640 ISFET array for detecting cell metabolism
Ling Yang, Yizheng Huang, Zhigang Song, Manqing Tan, Yude Yu, Zhao Li
J. Semicond. 2023, 44(2): 024101 doi: 10.1088/1674-4926/44/2/024101
Full Text: http://www.jos.ac.cn/en/article/doi/10.1088/1674-4926/44/2/024101
來源：半導(dǎo)體學(xué)報(bào)
