半導(dǎo)體所牽頭制定的《石墨烯薄膜層數(shù)測(cè)量：拉曼光譜法》國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)正式發(fā)布
近日，國(guó)際電工委員會(huì)納米電工產(chǎn)品與系統(tǒng)技術(shù)委員會(huì)（IEC/TC 113）正式發(fā)布國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IEC TS 62607-6-28:2025?Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-28: Graphene-related products - Number of layers for graphene films on a substrate: Raman spectroscopy（納米制造 - 關(guān)鍵控制特性 - 第6-28部分：石墨烯相關(guān)產(chǎn)品 - 基底上石墨烯薄膜的層數(shù)：拉曼光譜法）。該標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所譚平恒研究團(tuán)隊(duì)牽頭提案并組織編制，國(guó)家納米科學(xué)中心、深圳市標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院以及來(lái)自德國(guó)、日本、韓國(guó)的專家參與制定工作。
石墨烯薄膜的層數(shù)是石墨烯相關(guān)材料最核心、最基礎(chǔ)的物理性能參數(shù)之一，其表征方法的構(gòu)建與標(biāo)準(zhǔn)的制定是石墨烯材料研發(fā)、精準(zhǔn)制備和應(yīng)用的重要基石。該標(biāo)準(zhǔn)基于譚平恒研究團(tuán)隊(duì)原創(chuàng)性的前沿科學(xué)研究成果和具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的專利技術(shù)，在國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中建立單獨(dú)使用拉曼光譜法檢測(cè)石墨烯薄膜層數(shù)的技術(shù)規(guī)則和檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)提供了兩種獨(dú)立的標(biāo)準(zhǔn)化方法，分別是基于石墨烯薄膜拉曼光譜中的2D模線型（方法A，適用5層以內(nèi)AB堆垛的石墨烯薄膜）和石墨烯薄膜覆蓋下SiO2/Si襯底的硅拉曼模峰高（方法B，適用10層以內(nèi)AB和ABC堆垛的石墨烯薄膜）與層數(shù)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，對(duì)石墨烯薄膜的層數(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)判定和交叉驗(yàn)證，進(jìn)一步提高了復(fù)雜樣品的檢測(cè)可靠性。相比于現(xiàn)行國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中需使用多種檢測(cè)手段結(jié)合的方法，該標(biāo)準(zhǔn)僅使用常規(guī)拉曼光譜儀即可完成，測(cè)量步驟簡(jiǎn)單清晰、提高了檢測(cè)效率和可操作性。同時(shí)，該標(biāo)準(zhǔn)突破了現(xiàn)行國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中僅適用于5層以內(nèi)石墨烯薄膜的局限性，將層數(shù)檢測(cè)范圍拓展到了10層，擴(kuò)寬了應(yīng)用范圍，為石墨烯產(chǎn)品和相關(guān)科學(xué)研究提供了科學(xué)可靠的參考和技術(shù)指導(dǎo)，有助于提高石墨烯產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)、檢驗(yàn)和人工成本，易于推廣實(shí)施，規(guī)范市場(chǎng)秩序，引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。
該標(biāo)準(zhǔn)在IEC網(wǎng)站的相關(guān)發(fā)布信息：https://webstore.iec.ch/en/publication/68182
